l920年代に、真空中では加速した電子が光と同様の挙動を示すことが発見された。電子は光速に近い速度で直進し、その波長は光のl0万分のlである。それに加えて、可視光におけるレンズや鏡と同様の働きをする、電界や磁界が存在することも分かった。今日では、結像系には五つの磁界レンズが使われていて、分解能は0.lnm、倍率は100万倍を超えるまでになっている。生物の細胞・組織等の微細構造、鉱物試料の微細構造や回折像等の観察・写真撮影などに使用される。さらにそれらの像は、周辺機器を備えることによって画像処理・解析システムへと変換することができる。
