細かく絞った電子線を試料に照射すると、そのエネルギーの大部分は熱に変換されますが、他は図に示 すように多くの信号を発生させる。ＥＰＭＡはそれらの信号のすべてを適切に利用することによって、微 小部についての１）表面観察、２）元素分析、３）結合状態、4）内部特性・結晶構造解明を行う装置で ある。あらゆるミクロ分析・表面分析の基調をなす装置として、金属、半導体、鉱物、セラミックス、樹 脂・高分子、触媒、生物組織に至るまで、幅広く利用されている。詳しい説明は、機器分析センター報告 第１号にある。

ＥＰＭＡの構造図	累帯黒雲母のカラーマッピング機器分析センター報告第３号より転載