走査型電子顕微鏡
日本電子；JSM-820
Scanning Electron Microscope
JEOL ; JSM-820

細束電子ビームを励起源として試料上を走査し，試料の各点から放出される二次電子を映像信号として利用し，試料表面の形状を観察できる。SEMでの観察のためには導電性試料でなければならない。非導電性試料の場合は蒸着装置によって導電性物質で被覆する必要がある。