X線を物質に照射すると，吸収されるかあるいは透過する．物質に透過されたX線は，2次X線やb 線に変換される．蛍光X線は2次X線の一種であり，X線の照射により励起された電子が原子の外部に弾き出され，その空位に，より高エネルギー準位にあった電子が遷移するときに発生する固有X線で，元素に特有である．
　 蛍光X線分析法において，微量の4Be〜92Uを分析するため各種の改良が行われている。そのlつにX線管球の改良があげられる。Be〜Uを１種のRhターゲットで励起する方式に代え，2極のターゲットでRhの感度の劣る領域をカバーし，全範囲にわたり効率良く励起できるデュアルターゲットが考案されまた。本装置には，Rh，Wの2種のターゲットを取り付けたX線管球が装着されている。
　 物質にX線を照射すると，物質に吸収されたX線の一部が各元素の種類によって固有のエネルギー（波長）を持った蛍光X線となって放出される．この蛍光X線を分光結晶で分光し，X線の波長と強度を測定することで，物質中に含まれる元素の種類と量がわかる．
　蛍光X線分析の特徴は，�@分析が迅速，�A非破壊分析，�Bスペクトルは化学的状態に影響されない，�C化学的に同族の元素の分析が容易，�D分析精度が高く4Be〜92Uの分析が可能，�E定性分析が容易，�F厚みの分析ができる，�G試料準備が容易などである．
鉄鋼，非鉄金属，セメント，セラミックス，化学，石油，石炭，エレクトロニクス， 農業，地質学，紙，パルプ，環境の分野で利用されている． センターに設置された理学電機工業株式会社製の全自動蛍光X線分析装置 理学/RIX3000にはRh/WデュアルターゲットX線管球が装着されておりRh管球の感度の劣る領域をW管球でカバーし，全範囲にわたり精度良く測定できるように配慮されている。また，標準試料なしで定量分析ができるファンダメンタルパラメータ(FP)法ソフトウエアも搭載されている．