フィールドエミッションオージェ電子顕微鏡

機関名カテゴリ
表面観察・分析
機関名
山口県産業技術センター
型番
JAMP-9500F
メーカー
日本電子(株)
機器の主な仕様
【用途】
酸化皮膜等の極表面(表面から数nmの深さまで)の成分分析およびイオンスパッタリング法による深さ方向の元素組成の変化(デプスプロファイル)の測定。面分析可能。
【仕様】
フィールドエミッション電子銃
加速電圧0.5~30kV
利用タイプ
相互利用(機器利用)
利用金額
1時間:7,790円
問い合わせ先
技術相談・支援室

TEL : 0836-53-5053

MAIL : soudan@iti-yamaguchi.or.jp

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※相互利用(機器利用)とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。

※依頼測定(受託利用)とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。