レーザー顕微鏡

機関名カテゴリ
表面観察・分析
機関名
山口県産業技術センター
型番
OLS5100-EAT
メーカー
(株)エビデント
機器の主な仕様
【用途】
蒸着・切断・加工などの前処理なしで、対象物の表面形状の観察・測定(非接触)が行える機器です。
カラー撮影光学系による高精細な表面観察画像と、レーザー光学系による表面凹凸形状の3D測定および表面粗さの評価が可能です。
【仕様】
総合倍率:108X - 17,280X
視野サイズ:16μm - 2,560μm
レーザー光源:
 [波長]405nm
 [クラス]Class 2 (JIS C6802:2014)
撮影可能な画像の種類:
 カラー画像、カラー微分干渉画像
 反射型共焦点レーザー顕微鏡画像
 反射型共焦点レーザー微分干渉顕微鏡画像
表示分解能:
 [高さ測定]0.5nm
 [幅測定]1nm
XYステージ:100(W)×100(D)mm(許容積載重量3kg)
サンプル最大高さ:210mm
利用タイプ
相互利用(機器利用)
利用金額
1時間:2,130円
問い合わせ先
技術相談・支援室

TEL : 0836-53-5053

MAIL : soudan@iti-yamaguchi.or.jp

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※相互利用(機器利用)とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。

※依頼測定(受託利用)とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。