グロー放電発光表面分析装置

機関名カテゴリ
無機分析
機関名
山口県産業技術センター
型番
GD-Profiler2
メーカー
(株)堀場製作所
機器の主な仕様
【用途】
アルゴンガス雰囲気中のグロー放電により試料表面をスパッタ(試料表面を構成する原子や分子が叩き出される現象)し、その発光スペクトルを分光、計測することで試料表面及び深さ方向の組成分析を行う
【仕様】
[発光部]
 ランプ型式:マーカス型
 印加方法:13.56MHz高周波
 測定ノード径:7mm,4mm,2mm,1mm
[分光部]
 ポリクロメーター(主分光器):110~900nm
 モノクロメーター(副分光器):165~780nm
[検出部]
 検出器:光電子増倍管
 分析線(メイン分光器):32本
 分析元素:H~Uまでの32元素
利用タイプ
相互利用(機器利用)
利用金額
1時間:5,120円
問い合わせ先
技術相談・支援室

TEL : 0836-53-5053

MAIL : soudan@iti-yamaguchi.or.jp

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※相互利用(機器利用)とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。

※依頼測定(受託利用)とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。