蛍光X線膜厚計
- 機関名カテゴリ
- 無機分析
- 機関名
- 山口県産業技術センター
- 型番
- FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD
- メーカー
- (株)フィッシャー・インストルメンツ
- 機器の主な仕様
- 【用途】
極薄膜や多層膜の検査(電子・半導体など)
NiP膜の組成分析、厚さ測定
【仕様】
測定可能元素:Al(13)~U(92)
コリメーター数/サイズ:4種/φ0.1mm~φ3mm - 利用タイプ
- 相互利用(機器利用)
- 利用金額
- 1時間:710円
- 問い合わせ先
-
技術相談・支援室
TEL : 0836-53-5053
MAIL : soudan@iti-yamaguchi.or.jp
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用(機器利用)とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定(受託利用)とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。