イオンミリング装置

機関名カテゴリ: 材料表面処理
機関名: 山口県産業技術センター
型番: IB-09020CP
メーカー: 日本電子(株)
機器の主な仕様: 【用途】
アルゴンイオンを試料断面に平行に照射して損傷のない断面を作製する装置です。電子部品の不良箇所の観察や材料界面評価のための電子顕微鏡試料の作製に利用できます。
【仕様】
イオン加速電圧：～8kV
イオンビーム径：500μm以上（半値幅）
ミリングスピード：約100μm/H（加速電圧6kV時）
最大搭載試料サイズ：11mm（幅）×10mm（長さ）×2mm（厚さ）
試料回転ホルダ有
利用タイプ: 相互利用（機器利用）
利用金額: 1時間：1,760円
機器装置紹介: https://www.iti-yamaguchi.or.jp/equipment/278/
問い合わせ先: 技術相談･支援室

TEL : 0836-53-5053

MAIL : soudan@iti-yamaguchi.or.jp

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※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。

※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。

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