スパッタリング装置
- 機関名カテゴリ
- 材料表面処理
- 機関名
- 山口県産業技術センター
- 型番
- SRV4311
- メーカー
- 神港精機(株)
- 機器の主な仕様
- 【用途】
金属やセラミック膜を真空中で試料表面に形成する装置
本装置は、コンピュータ制御により多層膜、傾斜膜が自動的に形成可能
【仕様】
3源マグネトロンスパッタ源(500W)
基板冷却加熱回転機構(300℃常用)
ELディスプレイ付き - 利用タイプ
- 相互利用（機器利用）
- 利用金額
- 1日：14,660円
- 問い合わせ先
-
技術相談･支援室
TEL : 0836-53-5053
MAIL : soudan@iti-yamaguchi.or.jp
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。