走査電子顕微鏡（SEM)
- 機関名カテゴリ
- 表面観察・分析
- 機関名
- 山陽小野田市立山口東京理科大学
- 型番
- S-4800＋EDAX
- メーカー
- 日立
- 機器の主な仕様
- 超高分解能電界放出型走査電子顕微鏡S-4800 Type2に、エネルギー分散形Ｘ線分析装置GENESIS XM2を組み込んだシステムである。超高分解能のSEM機能を活かし、固体試料の表面の超微細な形態観察、組成元素分析を行うことができる。
SEM機能
分解能1.0 nm / 15 kV, 2.0 nm / 1 kV,
リターディング機能：1.4 nm /1 kV
極低照射電圧(100～500 V)での観察が
可能
ビームダメージ、チャージアップの低減
倍率：×20 ～ ×800,000
試料サイズ：
φ26×H24 mm～φ150 mm×H8 mm
(5軸モーター駆動台付き大型試料室)
Ｘ線分析機能
検出範囲Be(3) ～U(92)・元素マッピング - 利用タイプ
- 相互利用（機器利用）
- 利用金額
- お問い合わせください
- 問い合わせ先
-
管財部 施設管理課
TEL : 0836-88-4502
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。