真空科学・真空機器開発

　高性能な次世代デバイスを実現するためには、不純物の影響を極限にまで無くすために極高真空環境を実現し、薄膜材料形成や加工を行うことが必要です。新規チタン材料など、ガス放出が少ない真空部材の探索、および高性能真空部材を用いた真空装置の開発を行っています。