サーマル電界放出形走査電子顕微鏡
- 機関名カテゴリ
- 表面観察・分析
- 機関名
- 山口大学
- 型番
- JSM-7600F
- メーカー
- 日本電子(株)
- 機器の主な仕様
- セミインレンズ対物レンズにより、高分解能・高画質を実現しており、0.1～ 3kVの低加速電圧での高分解能観察が可能です。
試料の最表面の観察が可能で、非導電性試料をそのまま観察することも可能です。
● 二次電子像分解能：1.0nm(15kV)
● 倍率： X25～X1,000,000(120ｘ90mm画像）
● 加速電圧：0.1kV～30kV
● プローブ電流：1pA～200nA
● EDS分析部 (元素分析)：Si(Li)検出器、分解能 129eV、検出可能元素 Be～U
※EBSD（結晶方位解析）は測定できません。 - 利用タイプ
- 相互利用（機器利用）
- 利用金額
- 山口大学構成員 1時間：1,435円
山口大学構成員以外 1時間：2,870円 - 問い合わせ先
-
リサーチファシリティマネジメントセンター事務室
TEL : 083-933-5258
MAIL : sh082@yamaguchi-u.ac.jp
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。