装置紹介
下記以外にもご利用可能な機器があります。詳しくはお問い合わせください。
＜電子顕微鏡および関連機器＞
【SEM】サーマル電界放出形走査電子顕微鏡
 場所：先端研究棟103号室
【TEM】遠隔操作対応透過電子顕微鏡
 場所：先端研究棟101号室
【FIB】集束イオンビーム加工観察装置
 場所：先端研究棟102号室
電子線描画装置(50kV)
 場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
 ※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
ECRエッチング装置
 場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
 ※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
＜半導体製造関連装置＞
マスクレス露光装置
 場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
 ※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
マスクアライナー
 場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
 ※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
クリーンルーム（スピンコーター、光学顕微鏡）
 場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
 ※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
＜成膜・蒸着・膜厚測定＞
UHV10元スパッタ装置
 場所：先端研究棟104号室（クリーンルーム）
 ※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
3元RFマグネトロンスパッタ装置
 場所：西研究棟108号室
 ※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
エリプソメータ(分光型)
 場所：先端研究棟102号室
 ※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
＜構造解析/元素分析＞
水平粉末X線回折装置
 場所：先端研究棟308号室
 ※現在のところ学内のみ
元素分析装置
 場所：先端研究棟308号室
 ※現在のところ学内のみ
X線構造解析装置
 場所：先端研究棟308号室
 ※現在のところ学内のみ
粉末・小角X線回折装置
 場所：本館北138号室
 ※現在のところ学内のみ
ICP発光分光分析装置
 場所：先端研究棟204号室
マルチICP発光分光分析装置
 場所：先端研究棟204号室
＜核磁気共鳴装置（NMR）＞
核磁気共鳴装置 本館
 場所：本館南402号室
 ※現在のところ学内のみ
核磁気共鳴装置 旧
 場所：共同研究開発棟106号室
核磁気共鳴装置 新
 場所：共同研究開発棟106号室
＜質量分析装置（MS）＞
【GCMS】ガスクロマトグラフ質量分析システム
 場所：共同研究開発棟210号室
【熱分解】ガスクロマトグラフ質量分析システム
 場所：共同研究開発棟210号室
QTOF-MS
 場所：先端研究棟306号室
 ※現在のところ学内のみ
＜熱分析・熱測定装置＞
差動型示差熱天秤（TG測定）リガク
 場所：共同研究開発棟210号室
差動型示差熱天秤(TG測定)ネッチ
 場所：共同研究開発棟210号室
＜各種測定装置＞
ナノ粒子径分布測定装置
 場所：ビジネスインキュベーション棟210号室
全有機炭素計
 場所：ビジネスインキュベーション棟210号室
X線光電子分光装置
 場所：本館南403号室
 ※現在のところ学内のみ
ソーラーシミュレータ
 場所：先端研究棟202号室
薄膜・多孔質素材評価装置（ポロメータ）
 場所：共同研究開発棟209室
 ※現在のところ学内のみ
デジタルPCRシステム
 場所：機械・社建棟711
 ※現在のところ学内のみ