集束イオンビーム加工観察装置
- 機関名カテゴリ
- 表面観察・分析
- 機関名
- 山口大学
- 型番
- JIB-4000FIB
- メーカー
- 日本電子(株)
- 機器の主な仕様
- 特徴
・集束イオンビームによる試料加工装置です。
・特定部位のSTEM・TEM試料作製およびSEM観察用の試料断面加工が容易に行えます。
・また、断面加工とSIM観察により表層部構造や粒子断面の観察に有効です。
イオン源 Ga液体金属源
加速電圧 1～30kV
倍率 ×60（視野探し用）
×200～×300,000
像分解能 5nm（30kV時）
最大ビーム電流 60nA（30kV時）
ビーム径(電流) 13段階切り替え - 利用タイプ
- 相互利用（機器利用）
- 利用金額
- 山口大学構成員 1時間：3,220円
山口大学構成員以外 1時間：6,440円 - 問い合わせ先
-
リサーチファシリティマネジメントセンター事務室
TEL : 083-933-5258
MAIL : sh082@yamaguchi-u.ac.jp
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。