電子線描画装置（50kV)
- 機関名カテゴリ
- 表面観察・分析
- 機関名
- 山口大学
- 型番
- ELS-7500EX
- メーカー
- ELOPNIX
- 機器の主な仕様
- Windows対応のGUIとCADを統合しています。
●電子銃エミッタ―：ZrO/W熱電界放出型
●加速電圧：5～50kV
●最小線幅：10nm
●試料サイズ：最大6インチ
●重ね合わせ精度：40nm
●継ぎ精度：40nm - 利用タイプ
- 相互利用（機器利用）
- 利用金額
- 山口大学構成員 1日：4,000円
山口大学構成員以外 1日：8,000円
※アドバイザーによる機器の利用代行や操作補助が発生する場合,山口大学構成員は1回3,000円,山口大学構成員以外は6,000円を加算 - 問い合わせ先
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リサーチファシリティマネジメントセンター事務室
TEL : 083-933-5258
MAIL : sh082@yamaguchi-u.ac.jp
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。