マスクレス露光装置
- 機関名カテゴリ
- その他
- 機関名
- 山口大学
- 型番
- DDB-701-DL
- メーカー
- ネオアーク
- 機器の主な仕様
- 2種の対物レンズを保有しており、2倍を選択することにより厚膜レジストの露光も可能です。
●露光用光源：360nmLED
●DMD解像度：1280×800
●露光エリア：25mm×25mm
●最小描画線幅：3µｍ（10倍レンズ）、15µｍ（2倍レンズ） - 利用タイプ
- 相互利用（機器利用）
- 利用金額
- 山口大学構成員 1時間：1,000円,1日：5,000円
山口大学構成員以外 1時間：2,000円,1日：10,000円 - 問い合わせ先
-
リサーチファシリティマネジメントセンター事務室
TEL : 083-933-5258
MAIL : sh082@yamaguchi-u.ac.jp
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。