マスクアライナー
- 機関名カテゴリ
- その他
- 機関名
- 山口大学
- 型番
- SUSS-MJB3
- メーカー
- KARL SUSS
- 機器の主な仕様
- 密着露光によって高い解像度の露光が可能です。
●光源：高圧水銀灯（350～450nm）
350W（回折線減少露光光学系）
●マスクサイズ：2.5インチフォトマスク
●試料サイズ：2インチウエハー、3cm角以下（小片対応可）
●密着露光：ソフトコンタクト、ハードコンタクト、バキュームコンタクト - 利用タイプ
- 相互利用（機器利用）
- 利用金額
- 山口大学構成員 1時間：400円,1日：2,000円
山口大学構成員以外 1時間：800円,1日：4,000円 - 問い合わせ先
-
リサーチファシリティマネジメントセンター事務室
TEL : 083-933-5258
MAIL : sh082@yamaguchi-u.ac.jp
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。