クリーンルーム
- 機関名カテゴリ
- その他
- 機関名
- 山口大学
- 型番
- メーカー
- 機器の主な仕様
- クラス1000の半導体ドライプロセス
●面積：88.39m²
●清浄度：クラス1000(HEPAフィルタ)
●温度：23.0℃±2.0℃
●湿度：50％±10％ - 利用タイプ
- 相互利用（機器利用）
- 利用金額
- 山口大学構成員 1日500円
山口大学構成員以外 1日：1,000円 - 問い合わせ先
-
リサーチファシリティマネジメントセンター事務室
TEL : 083-933-5258
MAIL : sh082@yamaguchi-u.ac.jp
※空欄の場合は各施設にお問い合わせください。
※相互利用（機器利用）とは、利用者がご自身で機器を操作し、測定を行います。
※依頼測定（受託利用）とは、機器を管理する施設の職員が測定・解析を代行します。