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機種名

JIB-4000FIB

仕様

イオン源	Ga液体金属源
加速電圧	1～30kV
倍率	×60（視野探し用） ×200～×300,000
像分解能	5nm（30kV時）
最大ビーム電流	60nA（30kV時）
ビーム径(電流)	13段階切り替え

特徴

• 集束イオンビームによる試料加工装置です。
• 特定部位のSTEM・TEM試料作製およびSEM観察用の試料断面加工が容易に行えます。
• また、断面加工とSIM観察により表層部構造や粒子断面の観察に有効です。