装置紹介（電子顕微鏡および関連機器）

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電子線描画装置(50kV)
機種名
ELS-7500EX(エリオニクス)
仕様
電子銃エミッター ZrO/W熱電界放射型
加速電圧 5～50kV
最小線幅 10nm
試料サイズ 最大6インチ
重ね合わせ精度 40nm
継ぎ精度 40nm
特徴
  • Windows対応のGUIとCADを統合しています。