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機種名

EIS-200ER

仕様

イオン化ガス	Ar等不活性イオン種ガス O2・CF4等活性イオン種用ガス
加速電圧	100～1000V連続可変
イオンビーム有効径	φ20mm
試料サイズ	最大2インチφ

特徴

• 酸素等活性イオン種が，高密度で長時間安定して得られます。
• 無電極放電のため、長時間安定したビームが得られます。