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機種名

伯東株式会社製　4IBE-YMGU/2048GH-WS VP3

特徴

• カウフマン型イオンソースを有するイオンビームミリング装置。水冷直接冷却方式による基板冷却機構を有しており、イオンビームの入射角度は0度から±90度の範囲で調整可能。
• 基板サイズは形状にもよるが、1cm角から4インチウエハまで、不定形も対応可。
• 光学スペクトラム検出方式による終点検出機構を備える（元素によっては有効でない場合もある）。