装置紹介(電子顕微鏡および関連機器)
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イオンビームミリング装置
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機種名
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伯東株式会社製 4IBE-YMGU/2048GH-WS VP3
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特徴
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カウフマン型イオンソースを有するイオンビームミリング装置。水冷直接冷却方式による基板冷却機構を有しており、イオンビームの入射角度は0度から±90度の範囲で調整可能。
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基板サイズは形状にもよるが、1cm角から4インチウエハまで、不定形も対応可。
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光学スペクトラム検出方式による終点検出機構を備える(元素によっては有効でない場合もある)。