装置紹介（半導体製造関連装置）

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※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
マスクアライナー
機種名
MJB3(カールズース)
仕様
光源 波長365nm（i線）,405nm（h線）(超高圧水銀灯)
350W(回折線減少露光光学系使用)
最小線幅 5μmL/S
最大マスクサイズ 4インチフォトマスク
最大ウエハサイズ 2インチウェハ
露光方式 密着露光
特徴
  • 密着露光によって高い解像度の露光が可能です。