装置紹介（成膜・蒸着・膜厚測定）
※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
3元RFマグネトロンスパッタ装置
- 機種名
- ULVAC ミニスパッタ MNS-2000-RF
- 仕様
-
到達真空 1×10-5Pa 基板 最大56mmφ ターゲット 50mmφ×5mmt 電源 RF 500W 加熱温度 ～800℃
| 到達真空 | 1×10-5Pa |
|---|---|
| 基板 | 最大56mmφ |
| ターゲット | 50mmφ×5mmt |
| 電源 | RF 500W |
| 加熱温度 | ～800℃ |