装置紹介（成膜・蒸着・膜厚測定）

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※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します
エリプソメータ(分光型)
機種名
M-2000DI-YK（J.A.Woollam）
仕様
波長範囲 195nm～1685nm
最小線幅 10nm
角度範囲 45度～90度
試料サイズ 10mmφ～200mmφ
特徴
  • 薄膜やバルク材料の試料表面からの反射光の偏光状態の変化を測定して、薄膜の膜厚、光学定数（n：屈折率、k：消衰係数）を求めることができます。