装置紹介（各種測定装置）
ワンショット型非接触3次元測定解析装置
- 機種名
- キーエンスVR6200
- 仕様
-
倍率 12～160倍 XY測定可能範囲 300mm×150mm 耐荷重 4.5kg 表示分解能 0.1μm 正確さ 高さ測定 連結なし±2.5μm、連結あり±4μm 幅測定 低倍±5μm、高倍±2μm ※回転ユニット対応
| 倍率 | 12～160倍 |
|---|---|
| XY測定可能範囲 | 300mm×150mm |
| 耐荷重 | 4.5kg |
| 表示分解能 | 0.1μm |
| 正確さ | |
| 高さ測定 | 連結なし±2.5μm、連結あり±4μm |
| 幅測定 | 低倍±5μm、高倍±2μm |
| ※回転ユニット対応 | |