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装置紹介(各種測定装置)
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ワンショット型非接触3次元測定解析装置
機種名
キーエンスVR6200
仕様
倍率
12~160倍
XY測定可能範囲
300mm×150mm
耐荷重
4.5kg
表示分解能
0.1μm
正確さ
高さ測定
連結なし±2.5μm、連結あり±4μm
幅測定
低倍±5μm、高倍±2μm
※回転ユニット対応